TRM250 은 국내 출연 연구소에 의해 개발된 열반사 이미징 기술을 도입하여 제품화 한 연구 분석용 열분석 이미징 현미경입니다. 시료의 표면 또는 내부의 특정 면에서 온도변화량에 따른 광(光)반사율 변화의 분포를 고감도 광학 현미경 방식으로 측정함으로써, 발열 영상 정보를 획득하는 기술로 우수한 열영상 해상도를 제공합니다.
기존의 발열 영상 이미징 방식으로 얻을 수 없었던, 서브마이크로미터(sub-micrometer)의 공간 분해능으로 시료의 열분포 상태를 관찰할 수 있는 새로운 기법으로, 미세 전자 회로의 열분석을 위한 새로운 분석 도구가 될 것입니다.

열반사 현미경(Thermo-reflectance Microscope)은 측정 시료의 온도에 따라서 시료의 광학적 반사율이 변한다는 물리적인 현상에 근거하여, 광학적인 반사율을 측정함으로써 대상 시료의 온도를 산출해 내는 기술로, 적외선 영상과 같은 전통적인 발열 영상 이미징 기법으로는 얻을 수 없었던 미세 영역에 대한 고해상도 현미경적 열영상 이미징을 가능하게 합니다.

TRM250은 반도체 칩, 디스플레이 패널, PCB 회로 등 전기, 전자 파트에 열을 가하여 특정 온도에서의 반응 특성을 관찰하기 위한 분석 장비로, 관찰하고자 하는 소자의 온도를 변화시키면서 특정의 위치를 관찰하며 데이터를 확보하는 과정이 필요합니다.
고성능 펠티어(Peltier) 소자와 냉각 핀 구조가 적용되어 빠르고 정확한 온도 제어 및 유지가 이루어지며, 소프트웨어 프로그램으로 온도를 제어할 수 있는 히팅 플레이트가 장착되어 있습니다.
발열판의 중앙에 진공 홀이 장착되어 진공에 의하여 시편을 고정할 수 있으며, 표면에 장착된 정밀 온도 센서를 이용하는 Closed-loop 제어방식은 정확한 온도 환경을 유지시켜줍니다.

펄스 조명을 사용하여 온도 변화 구간에서의 순간적인 반사광 변화를 측정함으로써, 시간에 대해 어떠한 과정으로 온도 변화가 이루어지는지 관찰할 수 있는, 순간 열반응 이미징 분석(Transient thermal analysis) 기능을 추가할 수 있습니다.

10 μs

30 μs

50 μs

70 μs

100 μs